用HDH法制取钛粉时，在脱氢过程中有大量氢气挥发，系统真空度很低，一般采用单一的机械泵即可。如要制取低氢钛粉，真空机组主泵宜用油增压泵，而不用罗茨泵，这是因为脱氢效果前者好后者差。它的前级泵宜用机械泵。

冶金中涉及的几个真空系统的实例都有一些共同点，即系统的工作压力稍大，真空度较低，反应器内排气量大并夹带有较多的固体灰尘。这种真空系统属中真空系统，应用普遍，一般需要两个以上的泵串联组成。主泵选用油增压泵一罗茨泵，也可以是单一的油增压泵。下面进行具体介绍。

镁还原法炼钛常采用真空蒸馏法精制海绵钛，它的真空系统如图7—9所示。采用这种真空系统能获得较好的精炼效果。从理论上讲，这种真空系统也可选择油增压泵一罗茨泵作主泵。实践表明，采用罗茨泵作主泵时，初期使用效果良好，但继续使用后，泵腔转子和定子间隙很快被蒸发出的MgCl2等固粒堵塞无法继续运转。由于生产过程有大量MgCl2固粒蒸发，如选用罗茨泵作主泵，则必须采取有效的收尘措施，故只能用油增压泵作主泵。主泵采用单一的油扩散泵也不宜，这会延长蒸馏时间。这种真空系统的前级泵采用机械泵。

真空白耗电弧炉是熔炼钛和钛合金的主要炉型，它的真空系统如图8—18所示。图示的这种真空系统具有典型性，特别适用于钛锭的熔炼。该系统以油增压泵和罗茨泵为主泵，两泵并联，出口处串联一罗茨泵，再串联前级泵一机械泵。它兼有罗茨泵和油增压泵的双重特点，在真空白耗电弧炉熔炼过程的很宽的工作压力范围内(130～0.1Pa)启动快，抽速很大。